burkert宝德8746型热式气体质量流量控制器20001765深度解析

8746型热式气体质量流量控制器*10nm3/h,NH3,316L基座,G1/4寸,标定压力2bar,4-20mA

控制器| NH3 | 10,000 nm3 /h | 24v DC |内螺纹- G1/4" | 4-20 mA

工作原理

核心原理：

通过测量气体流动对热量的传递影响，计算质量流量。控制器包含两个温度传感器：

上游传感器：测量气体未受加热时的温度。

下游传感器：位于加热元件后，测量气体吸收热量后的温度。

当气体流动时，加热元件的热量被气体带走，导致上下游传感器产生温差（ΔT）。控制器通过调整加热功率维持恒定温差，加热功率的变化与气体质量流量成正比。

技术优势

高精度误差通常小于1%，重复性优异，满足高精度控制需求

快速响应响应时间几毫秒内，适应快速变化的流量场景

宽量程比量程比可达100:1，覆盖低流速到大流量需求

无需温压补偿直接测量质量流量，简化系统复杂度

低流速灵敏对微小流量变化敏感，适用于精密控制

气体兼容性强可测量单一或混合气体

应用场景

半导体制造：

用于CVD（化学气相沉积）、蚀刻、扩散等工艺的气体流量控制，确保工艺稳定性和产品良率。

环境监测：

稀释标准气体，监测空气质量，支持环保评估。

化工与能源：

控制反应釜气体进料、燃气炉空气-燃料配比，优化能源效率。

医疗与实验室：

提供精确的气体混合比例，支持生物反应器、气相色谱仪等设备。

环保与新能源：

监测烟气排放、控制清洁能源（如氢气）的输送。

未来展望

技术融合：集成AI算法提升自适应能力，优化复杂工况下的控制精度。

材料创新：开发耐腐蚀、耐高温的新型传感器，拓宽应用领域。

绿色制造：推动节能设计，降低设备功耗和碳排放。

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